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国产电子产品,争一口“气”

从全球市场占比来看,硅烷约为22%,三氟化氮为13%,离子注入气为10%,氟碳类为6%,六氟化钨为4%,笑气为4%,锗烷为3%,高纯氨为3%以及大量其它气体。

特种气体