东方晶源荣获第三批国家级专精特新“小巨人”企业称号
东方晶源始终专注于集成电路良率管理领域，自主研发出的计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了国内相关领域的空白
东方晶源始终专注于集成电路良率管理领域，自主研发出的计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了国内相关领域的空白
此次出机仪式，标志东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得了重大产品技术突破，填补了国内关键尺寸量测设备（CD-SEM）的市场空白。