半导体联盟新闻，近日，江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“南大光电”）在股票交易异常波动的公告中披露了其光刻胶项目最新进展。
公告显示，南大光电承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线的安装，正在调试阶段。2020年4月，公司采购的用于检测ArF(193nm)光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF(193nm)光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。
目前“ArF光刻胶开发和产业化项目”正处于光刻胶样品验证阶段，验证过程预计需要12-18个月，甚至更长的时间。南大光电还指出，ArF(193nm)光刻胶产品开发技术突破难度大、工艺要求高，且实现稳定量产周期较长，后续是否能取得下游客户的订单，能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。
据了解，南大光电ArF光刻胶产品的开发和产业化项目总投资额为6.56亿元，其中，国拨资金1.93亿元，地方配套资金1.97亿元，项目实施主体为南大光电全资子公司宁波南大光电。
2019年12月14日，南大光电再次发布公告称，通过增资扩股的方式宁波南大光电进行增资2.6亿元，增资事项完成后，宁波南大光电的注册资本由4000万元增加到3亿元。对于宁波南大光电增资扩股并引入外部投资者，南大光电称，有利于加快公司ArF光刻胶产品的开发与产业化项目的建设进度，推动光刻胶板块的战略布局。
根据最初规划，ArF光刻胶产品的开发和产业化项目拟通过3年的建设、投产及实现销售，达到年产25吨193nm（ArF干式和浸没式）光刻胶产品的生产规模，产品满足集成电路行业需求标准。同时建成先进光刻胶分析测试中心和高分辨率光刻胶研发中心。
