光阻剂是重要的半导体材料,是一种用在许多工业制程上的光敏材料。比如光刻技术,可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。
根据韩国媒体报导,三星电子、SK海力士等韩国半导体企业,目前从比利时引进半导体光阻剂(photoresist),顺利填补日本出口限制导致的原料缺口。韩国产业研究院调查报告指出,有77%韩国企业认为,不会受日韩贸易冲突波及。
根据《ETnews》报导,日本对韩国加强出口管制已超过100天。韩国关税厅根据统计指出,2019年第3季从比利时进口的光阻剂金额为459.6万美元,相较2018年同期的84.1万美元,高出446%。特别的是,从7月开始,比利时制光阻剂进口量急剧增加,相较6月进口金额仅6.6万美元,7月日本对韩国出口限制后,每个月进口金额都超过100万美元。
报导指出,日本将光阻剂列入对韩国的限制产品之后,三星和SK海力士等企业就积极争取自比利时进口。
虽然相关韩国企业不愿证实比利时光阻剂原料的来源,但据了解,光阻剂应是来自日本化学企业JSR与比利时研究中心IMEC的合资公司RMQC。
韩国关税厅公布的光阻剂进口金额,也包含通用半导体原料,但大多是EUV技术专用原料。外界解读,比利时的光阻剂原料已补足韩国半导体企业对这类产品需求的缺口。
根据统计,2019年第3季,韩国从比利时进口的光阻剂重量约0.9公吨,若换算成体积,相当于250~260加仑。
业界透露,三星电子每个月需约80加仑EUV用光阻剂,SK海力士则尚未正式引进EUV技术制程,因此每个月只需10加仑以下用量。有分析认为,韩国目前进口库存量已能避免日韩贸易纠纷带来的影响。