东方晶源国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机中芯国际 此次出机仪式，标志东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得了重大产品技术突破，填补了国内关键尺寸量测设备（CD-SEM）的市场空白。 封测设备 东方晶源 2021-07-01
