至纯科技半导体清洗设备交付速度加快 “国家队”基金拟9亿战投助力国产替代 至纯科技官方微信公众号发布的消息显示,2020年6月19日,随着交付给华虹集团ICRD有着特殊清洗要求的300MM单片式湿法设备搬入,2020年上半年,至纯旗下至微科技的单片清洗和槽式湿法设 半导体材料 半导体清洗设备 2020-07-06