聚焦高端芯片设备战略，中微半导体投资上海睿励 8月21日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称 中微半导体 ）发布公告称，拟对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称 上海睿励 ）进行投资，金额为1375万元，投资完成 中微半导体 材料设备 半导体设备 2019-08-22
中微半导体成功上市！目标10年内成为国际一流半导体设备公司 中微半导体成功过会科创板，主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售。自成立以来，其主要业务是开发加工微观器件的大型真空工艺设备，包括等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备 中微半导体 IC设计 半导体行业 2019-06-21
