在半导体设备中，如果说，光刻机是马里亚纳海沟，深入最底者寥寥，那么离子注入机则是珠峰，能征服者甚少。

新中国成立后，珠峰的高度，英国人测量过，法国人测量过，甚至印度人都测量过，唯独中国人没有测量过，新中国的英雄们为证明中国实力，对珠峰进行了一次艰难的测量。这是去年上映的电影《攀登者》，对历史的还原。

离子注入机这个行业面临同样的问题。这个在晶圆加工中占比5%左右的关键设备，却长期被国外所统治，美国的应用材料（Applied Materials）和亚舍利（Axcelis）合计占据全球85%-90%的市场，长期以来，国内企业的市场份额一度近乎为0。

为了攀登离子注入机这座半导体设备的珠峰，2017年，发改委颁布的《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》中将集成电路离子注入机纳入目录范围；2018年，工信部发布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》，将中束流、大束流以及高能离子注入机列入名单。这些政策的背后，是国家力求发展国产化的离子注入机的决心。

“攀登者”的成绩

国内能够担当离子注入机领域”攀登者“角色的，当属万业企业旗下的凯世通。凯世通2009年成立，2018年被万业企业以3.98亿元收购。

凯世通早期主要从事光伏行业的离子注入设备研发。近两年，公司开始切入半导体领域，全力推进“高能离子注入机关键技术研究及样机验证”的研发工作。

2019年，凯世通的IC离子注入机，在国内12英寸晶圆厂和主流存储器芯片厂进行产线验证，产品在束流强度指标上表现优异。

近期凯世通又传来好消息。其生产的集成电路离子注入机获得客户批量采购，这表明国内客户对凯世通低能大束流离子注入机、高能离子注入机进入全面商用化的认可，同时也是半导体设备国产替代浪潮中重要一步。

此次的采购方为芯来科技（绍兴），采购了3台12英寸集成电路设备，分别为低能大束流重金属离子注入机（Sb implanter）、低能大束流超低温离子注入机（Cold implanter）以及高能离子注入机（HE implanter），订单金额超过1亿元人民币。

对于凯世通来说，这也是今年9月首台低能大束流设备送入国内主要芯片制造工厂后的又一大商业化进展。

在这一系列商业成就的背后，是凯世通（万业企业）对研发的大力。据万业企业三季度报告显示，公司研发离子注入机费用投入同比增长46.02%，未来将持续加大投资规模。

今年9月，凯世通成功进入上海市2020年度集成电路科技支撑专项立项项目名单。这是继去年“高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目被正式列入该计划之后，再度获得政府及业界专家肯定。

起底万业企业

凯世通的创始人陈炯博士，毕业于美国哥伦比亚大学应用物理博士学位，曾是全球知名离子注入机企业AIBT的创始人之一，带领美国团队成功开发了两代大束流离子注入机，打入先进28nm关键制程集成电路制造厂商。

陈炯博士

2009年，当他在美国硅谷与中国“02专项调研组深入交流后，51岁的陈炯博士，毅然决定回国发展。与他一同并肩作战的还有另外四名同事，他们全部是世界一流的离子注入设备专家。几人回国后，从头开始，打造了一个属于中国的高端装备品牌——凯世通。

作为凯世通的母公司，万业企业依靠房地产起家，2018年收购凯世通切入半导体产业。同时，万业企业还通过入股上海半导体装备材料基金，投资飞凯材料、精测电子、长川科技等，以外延并购+产业整合的方式布局半导体设备领域。

虽然如今国内泛起“造芯”热，很多企业跨界做半导体，但万业企业却与大多数跨界造芯企业有着很大不同。

万业企业的最大股东是上海浦东科技投资公司，我国顶级的科技创投势力之一。主要聚焦集成电路、医疗健康、航空航天和TMT等高科技产业领域，曾对展讯通信和锐迪科微电子发出收购要约，成功要约收购澜起科技，收购韩国芯片设计公司Alphean Inc等。

万业企业的第三大股东是大基金。2019年一季度末，国家集成电路产业投资基金持有万业企业7%的股权，成为公司的大股东。

此次凯世通的离子注入机发等多款产品商用化取得重要进展，证明万业企业的产品竞争力及核心技术，已满足主流芯片制造工艺的生产需求。

综合来看，万业企业有凯世通创始人团队的技术背书，以及大股东浦东科投与大基金的加持，在未来的转型与产业整合之路会走得更为顺畅。

未来可期

展望未来，国产替代潮来袭，芯片制造工厂持续扩产，以及主流制程工艺的提升，都需要采购更多数量的半导体设备，这对于万业企业来说是一个机会。

旗下凯世通以其技术与产品的独特性，在大基金的加持下，踏着国产替代的东风，一步步的跻身国内半导体制造企业的供应链，并有机会走向国际市场，与国际巨头同场竞技。

对于万业企业来说，凯世通是其布局半导体产业的一个切口，随着凯世通的成功，以及万业企业自身布局越来越多元化，其有望从一个房产公司转型成为高科技产业，以在未来获得更具成长性的市场空间。

封面图片来源：拍信网
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