半导体联盟消息，国外媒体9月28日报道，而消息人士透露，台积电正在加快研发极紫外光刻工艺，他们预计到明年年底，极紫外光刻机的累计采购量将达到约55台。
在8月份的全球技术论坛期间，台积电曾透露全球目前在运行的极紫外光刻机中，他们约有一半，产能则是预计占全球的60%。
台积电是从第二代的7nm工艺开始采用极紫外光刻机的，7nm之后的工艺，就将全部采用极紫外光刻机，随着5nm工艺的大规模投产，6nm工艺、第二代5nm工艺和3nm工艺开始筹备量产，他们对极紫外光刻机的需求也越来越大。
阿斯麦是目前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商，台积电所需要的极紫外光刻机，也就全部来自于阿斯麦。
阿斯麦极紫外光刻机
目前还不清楚台积电已经向阿斯麦采购了多少台极紫外光刻机，但从阿斯麦的年报来看，他们从2012年就已开始交付极紫外光刻机，到今年二季度结束时，他们已累计向用户交付76台极紫外光刻机，按50%的比例计算，台积电目前拥有的极紫外光刻机，就是在38台左右。
